Bellissimo tool, non lo conoscevo.
Ho fatto il test su un ATmega328 a 16 MHz e su un ATmega8 a 8 MHz per avere un riscontro:
Speed test ATmega328 @ 16MHz VS ATmega8 @ 8MHz
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F_CPU = 16000000 Hz 8000000 Hz
1/F_CPU = 0.0625 us 0.1250 us
delay(1) : 1006.987 us 1014.500 us
delay(100) : 99999.984 us 100000.000 us
delayMicroseconds(1) : 0.883us 1.660 us
delayMicroseconds(5) : 4.656 us 4.802 us
delayMicroseconds(100) : 100.237 us 100.450 us