Hallo,
prinzipiell sind 100kHz kein Problem mit einem ATmega328P o.ä. Aber die gewünschte Abstufung von 500Hz sind nicht sauber möglich. Die Sprünge werden immer größer je höher die Zielfrequenz wird. Du wirst mit Abweichungen leben müssen.
Nimm dir die Formel und berechne für alle Compare Werte die resultierende Frequenz. Dann siehst du zwischen welchen Werten man "springt". Wenn das für dich reicht ist es okay.
Wenn die Abstufungen feiner werden sollen, hilft nur höherer Grundtakt und/oder feinere Teiler etc., dann biste beim ESP.